Das belgische Chip-Forschungszentrum imec hat eine der weltweit seltensten Maschinen überhaupt in Betrieb genommen: den ASML EXE:5200, ein High-NA-EUV-Lithografiesystem im Wert von 400 Millionen Dollar. Weltweit existieren weniger als ein Dutzend dieser Geräte — und Leuven ist nun der erste Standort in Europa, an dem das System in eine Produktionslinie integriert wird.
Was die Maschine kann
Der EXE:5200 ist so groß wie ein Stadtbus, wiegt 150 Tonnen und ermöglicht die Fertigung von Chips im Ångström-Maßstab — also Strukturen, die zehnmal kleiner sind als ein Nanometer. Die größere numerische Apertur des Systems erlaubt Chipmerkmale, die bis zu 66 Prozent kleiner ausfallen als bisher möglich, was schnellere und energieeffizientere Halbleiter bedeutet. ASML ist der einzige Hersteller solcher Extreme-Ultraviolett-Lithografiesysteme weltweit — ein Monopol, das mit jeder neuen Technologiegeneration schwerer angreifbar wird.
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Das System bildet das Herzstück von imecs 2,5 Milliarden Euro schwerem NanoIC-Pilotprojekt im Rahmen des EU Chips Act, das von der EU, der flämischen und der niederländischen Regierung mitfinanziert wird. Imec fungiert dabei als Schnittstelle zwischen Chipherstellern und Ausrüstern: Unternehmen wie Intel und SK Hynix bereiten sich bereits darauf vor, High-NA-EUV-Systeme ab 2027 in der kommerziellen Produktion einzusetzen — für KI-Logikchips und Hochbandbreitenspeicher.
Finanzieller Rückenwind
Die Inbetriebnahme in Leuven fällt in eine Phase starker Wachstumserwartungen für ASML. Für 2026 prognostiziert das Unternehmen einen Gesamtumsatz zwischen 34 und 39 Milliarden Euro bei einer Bruttomarge von 51 bis 53 Prozent. Im Gesamtjahr 2025 erzielte ASML einen Umsatz von 32,7 Milliarden Euro und einen Nettogewinn von 9,6 Milliarden Euro.
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Ein Risikofaktor bleibt der China-Anteil: Das Management erwartet, dass der Umsatzanteil mit China 2026 auf rund 20 Prozent sinkt — nach einem ungewöhnlich hohen Beitrag im Vorjahr. Die ASML-Aktie hat sich seit ihrem Tief im April 2025 bei 544 Euro mehr als verdoppelt und notiert aktuell knapp unter dem 52-Wochen-Hoch von 1.295 Euro.
Die vollständige Qualifizierung des EXE:5200 bei imec ist für das vierte Quartal 2026 geplant. Bis dahin bleibt das gemeinsame High-NA-EUV-Labor von ASML und imec im niederländischen Veldhoven in Betrieb. Mit dem Zeitplan für kommerzielle Produktionseinsätze ab 2027 rückt der technologische Sprung ins Ångström-Zeitalter von der Theorie in die Realität.
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